聽·見中國式現代化③ ｜“面對‘卡脖子’，一定要國產化！”

【▲聽習近平總書記原聲】

編者按

黨的二十大擘畫了以中國式現代化推進中華民族偉大復興的宏偉藍圖。聽，聲音鏗鏘；見，畫卷舒展。泰州廣播電視臺推出大型融媒體集成報道“聽·見中國式現代化” ，記錄凝心聚力、同心筑夢，奔赴中國式現代化的生動實踐和美麗圖景。今天一起走近江蘇先鋒精密科技股份有限公司的研發部經理賈坤良。

半導體芯片是信息化時代的基石，也是當今尖端制造的制高點。半導體精密零部件研發制造不僅是半導體芯片制造設備中難度較大、技術含量較高的環節之一，也是國內半導體設備企業被“卡脖子”的環節之一。作為江蘇先鋒精密科技股份有限公司研發部經理的賈坤良，多年來秉承工匠精神，深耕專業領域，為半導體產業鏈國產化貢獻了自己的力量。

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日行千里

為客戶的國產化需求竭盡全力

一上班，賈坤良就來到生產車間查看為客戶定制的高溫晶圓加熱器生產情況，這款加熱器是先鋒精密自主研發的新品，賈坤良非常關心產品的參數、質量情況。正是因為這種認真勁，他在任職期間參與公司產品技術研發并獲得授權專利 14 項，有力推動了知識和科技成果轉化為實際生產力。

2011年左右，國內某半導體企業尋求合作開發廠家。但因為國產化這個零部件投入巨大，難度也很高，國內很多企業都拒絕了。

當時的先鋒雖然也缺乏相關的先進設備和焊接技術，但為了助力半導體行業的國產化，也為了先鋒日后的發展，公司負責人還是接下了這份訂單，并安排賈坤良來負責完成合作。

【賈坤良：這些產品一定要實現國產化】

因為客戶需要的零部件是不常用的陶瓷材質，而陶瓷焊接設備短時間內無法購買，賈坤良便只能帶著生產出的零部件多次自駕去蘇州、上海的外協廠商進行焊接。

為了加快交付進度，確保項目節點，有一個多月的時間，賈坤良幾乎每天都在靖江和蘇州、上海的外協廠商之間來回穿梭，凌晨四五點出發，深夜十一二點才能回來，而回來之后也不能休息，必須立刻對焊接好的零部件進行檢測。

就這樣，不到一年時間，客戶要求的首批產品就試制成功，經過對比測試，性能與國外產品相當，達到使用要求，如今早已實現了量產。

從“中國制造”到“中國智造”

雖然仿制成功，但賈坤良并不滿足。因為他認為，面對半導體設備零部件被國外企業“卡脖子”，唯有不斷研發創新才能實現半導體裝備關鍵零部件的國產化替代，才能提升半導體產業鏈、供應鏈韌性和安全水平。

因為之前先鋒的半導體設備核心零部件大部分依賴進口，2015年，賈坤良就遇到過被外國企業以小制大“卡脖子”的事情。

【賈坤良：忍痛購買外國產品，價格翻番】

面對這樣的情況，不服輸的賈坤良潛心研究，以全新視角系統、全面剖析問題，找到直接原因，更低成本、高效益地解決問題。2016年末，這個曾經不得不高價進口的核心部件就實現了量產，產品價格也從原先進口的4萬美元/臺（套）降至1.5萬美元/臺（套）。

在攻克高均勻性晶圓加熱器難題時，賈坤良更是靈活運用 TRIZ 創新理論，解決了晶圓加熱器高溫時的熱平衡和均勻性問題，該項目獲得了2021年中國創新方法大賽江蘇賽區決賽二等獎。

匠心淬煉

成品率70%→99%

噴淋盤是芯片制造設備刻蝕機的主要部件。在央視2018年推出的大型紀錄片《大國重器》中，有這樣一組鏡頭，一個直徑近半米的噴淋盤上，均勻地分布著超1000個細小的圓孔，反應氣體正是通過這些小孔進入反應腔體，在射頻作用下形成均勻分布的等離子體。這塊噴淋盤就是由先鋒研發生產，成為首批國產7納米等離子刻蝕機的核心部件。